Horiba氣體質量流量計/流量控制器S48-32

系列產品介紹：

Horiba氣體質量流量計/流量控制器S48-32 是horiba的暢銷產品，流量從0-10sccm，到0-50SLM，精度1%，電源有±15V和24V可選，輸出信號有4-20mA、0-5V可選。可任意角度安裝，高精度響應快，可自動調零。

流量規格：

0-10，30，50，100，200，300，500sccm（mL/min，25℃）

0-1,2,3,5,10,20,30,50SLPM（L/min，25℃）

特點：

·可以任意角度安裝

·高精度響應快

·快速的響應

·電磁閥使用壽命≥100萬次

·可自動調零

·日本進口核心部件——傳感器、分流器、精密元器

Horiba質量流量控制器S48-28、S48-32說明書：

實物圖：

本公司同時提供日本HORIBASTEC、日本KOFLOC、美國AALBORG、美國Alicat、美國Omega品牌的質量流量計、質量流量控制器、數字式質量流量控制器、耐腐蝕質量流量控制器

進口高性能數字型號：SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG

進口低成本數字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。

進口低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，kolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFC47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S，omega FMA1815S。

國內組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32。

國內組裝數字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。

Horiba液體流量控制器LV-F20 PO、LV-F30 PO、LV-F30 PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60 PO、LV-F20 MO、LV-F40 MO、LV-F60 MO、LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F50M、LF-F60M。

配套的閥門管件：韓國TKF 1/4手動隔膜閥S4DVN-VM-P、1/2手動隔膜閥S8DVN-VM-P、1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-P、UN4GT、S4MN、S4FN。

美國Valex不銹鋼管，1/4"EP級不銹鋼管、3/8"EP級不銹鋼管、1/2"EP級不銹鋼管。

HORIBA MFC應用

HORIBA MFC可以為您的涂層工藝生產線提供穩定的控制，如化學氣相沉積 (CVD)，原子層沉積 (ALD)，金屬有機化學氣相沉積 (MOCVD)， PVD (物理氣相沉積)，等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD) 和金剛石沉積或金剛石涂層 (DLC)。

Horiba的產品提供全面的流體控制和過程監控，以提高產量，增加吞吐量，并為您的涂層過程提高效。

HORIBA 擁有四極質譜儀，這使得它能夠在比傳統設備更高的壓力(1pa)下工作。這就減少了對額外泵送設備的需求。